你们这个厚度,三层叠加,透光度如何保证?
内部应力呢?
这不符合高端光刻机的要求!”
预料之中的反应。
周明哲嘴角微不可察地一扬,马丁的质疑恰恰指向了问题的核心,也给了他展示真正实力的机会。
“马丁先生,镀膜厚度只是工艺的一环。
请允许我为您介绍,这块遮光罩的基石--橙科自研的FH-3.0光学玻璃。”
他不再给马丁打断的机会,一连串精准到极致的数据如同经过精密编程,流畅而有力地倾泻而出:
“光学性能方面,193纳米深紫外波段,基底透光率超98%,镀膜后可达99.9%。
折射率1.560713
物理性能,热膨胀系数低至0.1乘10的负6次方每开尔文,是普通玻璃的百分之一;
超低膨胀型号更可达到5.4乘10的负7次方每摄氏度。
机械强度是普通玻璃三倍.
化学稳定性,软化点约3780摄氏度,耐酸能力是不锈钢的300倍.”
他语速平稳,却带着不容置疑的穿透力。
从光谱范围、密度、硬度、电绝缘性,到光刻机应用所需的纳米级平整度、近零热膨胀保障。
再到那项堪称“黑科技”的热恢复性能,300摄氏度局部加热即可修复0.9毫米以下的微裂纹
马丁最初靠在椅背上的身体,不知何时已经前倾,眼神中的质疑逐渐被惊愕取代。
他抬手,示意周明哲暂停,拿起桌上那块看似普通的高端遮光罩样品,对着灯光仔细查看,指尖感受着那非比寻常的质感。
“等等.周!”
马丁的声音,带着一丝不易察觉的沙哑。
“你的意思是,你们搞出了一种.一种性能如此卓越的玻璃基底,但因为精加工,嗯主要是镀膜工艺暂时跟不上,所以只能先拿来做遮光罩?”
“可以这么理解!”
周明哲坦然承认短板,但自信不减。
或许这块‘璞玉’或许还不够光滑,但它的本质,足以让它敲开很多大门。
马丁沉默了,手指无意识地敲击着桌面,内心显然在激烈权衡。
KWME的合作稳固,但橙科这块基底材料的性能参数太过诱人,尤其是那99.9%的透光率和近乎变态的热稳定性与自修复能力.
“价格?”他最终吐出两个字。
周明哲知道,关键时刻到了。
“高端款,一百二十万美刀,低端款,三十万美刀
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