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1、更纯净、更稳定的光源系统(激光器)。
2、更智能、更强大的光刻计算光刻(ComputationalLithography)算法。
3、更高精度的运动控制与对准技术(核心是超精密测量与执行器件,如.超高精度陀螺仪用于晶圆台和掩模台的纳米级稳定与定位)。
供应链负责人被赋予了重任。
他迅速将团队分组:一组去考察激光器巨头西蒙和蔡斯公司,一组去硅谷寻求顶尖的计算光刻软件公司,最后一组,则负责寻找超精密运动控制解决方案。
保罗被分在了超精密技术组。
他的同事被派往北美,目标直指该领域的绝对王者--霍尔尼尔(Honeywall)和老二AEO(AlliedElactronics&Optics),希望能采购到其最顶级的精密运动控制模块。
而保罗的任务则是前往亚洲,考察霓虹的东之、TDK等可能具备相关超精密技术的公司。
“保罗!”
供应链负责人将任务书递给他,特意补充道:“另外需要提醒你的是,今年3月份的国际工业博览会将在种花的深城举行,你亚洲之行结束后,顺道去深城看看”
“你留意一下,有没有可能找到能提供精度在0.001°/h到0.0001°/h的超精密陀螺仪供应商,温尼克总裁对这个指标很关注,他认为这对我们下一代EUV光刻机的稳定性至关重要!”
保罗接过文件,作为资深技术专家,他忍不住苦笑吐槽。
“头儿,你确定没开玩笑?
霍尔尼尔最先进的旗舰型号GG1389,零偏稳定性才0.0015°/h,还是北美白房子严格管控的战略物资!
三个零的超精密陀螺仪,它就不可能出现在博览会上!
你让我在亚洲找精度最低要达到0.001°/h,三个零的高精度陀螺仪?
我觉得亚洲除了霓虹以外,都是超精密技术的荒漠,在深城国际工业博览会上找高精度陀螺仪,这简直是在开玩笑!”
保罗觉得头儿这要求,近乎天方夜谭。
阿斯唛供应链负责人无奈地耸耸肩。
“保罗,我知道这很难,但你也知道,温尼克好不容易才把ASM带到这个位置,他绝不允许下一代EUV因为任何一个环节的短板而掉下去。
你就当.去深城度个假,碰碰运气吧?
万一有惊喜呢!”
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